Art

J-GLOBAL ID：201902246961661424   Reference number：19A1175000

Study on Micro Fabrication Technology for the Patterned Se/TiO₂ Photodiodes

結晶セレン薄膜を用いたマイクロ可視光センサのためのパターニング技術の開発

Author (2)： ADACHI YUSUKE (立命館大学 理工学部 機械工学科) ,  KOBAYASHI TAIZO (立命館大学 理工学部 機械工学科)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 139  Issue： 4  Page： 75-80(J-STAGE)  Publication year： 2019 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： selenium ,  titanium oxide ,  *photodiode ,  *pattern formation ,  *fine patterning ,  tellurium ,  crystal structure ,  optical absorption ,  absorption coefficient ,  heterojunction ,  thin film growth ,  vapor deposition ,  lithography ,  etching ,  current-voltage characteristic ,  adhesion property ,  visible light ,  *optical sensor
Semi thesaurus term： 結晶セレン ,  thin film deposition ,  microsensor ,  マイクロ可視光センサ

Author keywords (12)： 結晶セレン ,  テルル ,  半導体微細加工 ,  薄膜 ,  パターニング ,  結晶構造 ,  selenium ,  tellurium ,  micro fabrication technology ,  thin film ,  patterning ,  crystal structure

JST classification (3)： Photodetectors  (NC03083X) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Optical instruments and techniques in general  (BD07010S)

Reference (10)：

• (1) T. Nakada, et al.: “Integrated selenium color sensor and its application to a color recognition system”, Sens. and Act. A, Vol. 40, pp. 117-119 (1994)
• (2) S. Imura, et al.: “High-sensitivity image sensors overlaid with thin-film gallium oxide/crystalline selenium heterojunction photodiodes”, IEEE Trans. Electron Devices., Vol. 63, No. 1, pp. 86-91 (2016)
• (3) 足立悠輔・小林大造:「結晶Seを用いたヘテロ接合フォトダイオードの光応答性へのデバイス作製条件の影響」, 平成30年電学全大講演論文集, p. 236 (2018)
• (4) T. Nakada, et al.: “Polycrystalline thin-film TiO₂/Se solar cells”, Jpn. J. of Appl. Phys., Vol. 24, No. 7, pp. L536-L538 (1985)
• (5) T. Kobayashi and S. Konishi: “TiO₂ patterns with wide photo-induced wettability change by a combination of reactive sputtering process and surface modification in a microfluidic channel”, J. Micromech. Microeng., Vol. 25, No. 11, 115014 (2015)

Terms in the title (6)： 結晶 ,  セレン ,  薄膜 ,  可視光 ,  パターニング ,  開発