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J-GLOBAL ID：201902247715938019   Reference number：19A2264910

銅定盤を用いたダイヤモンドラップの砥粒挙動に関する研究

Author (3)： KAGI YUSEI (金沢工大 大学院) ,  SUWABE HITOSHI (金沢工大) ,  ISHIKAWA KEN'ICHI (金沢工大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2019  Issue： 秋季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.C03  Publication year： Aug. 20, 2019 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Copper ,  *surface plate ,  abrasive grain ,  mirror finishing ,  wafer ,  visualization ,  *workability (machining) ,  *lapping machine ,  sapphire substrate ,  *diamond abrasive grain ,  *behavior analysis ,  machining
Semi thesaurus term： mirror-like finishing

JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Reference (2)：

• 柴田脩太,諏訪部仁,石川憲一:サファイアウエハのラッピングにおける加工液の特性が加工に及ぼす影響,2014年度精密工学会春期大会講演論文集,(2014) 653.
• 川波多裕司,桐野宙冶,張宇,谷泰弘:金属短繊維含有ラッピング工具の開発,精密工学会誌,83,7 (2017) 672.

Terms in the title (7)： 銅 ,  定盤 ,  ダイヤモンド ,  ラップ ,  砥粒 ,  挙動 ,  研究