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J-GLOBAL ID：201902256553405669   Reference number：19A0106422

ボトムアップ/トップダウンレーザー加工による半導体ナノ・マイクロ結晶合成

Author (1)： NAKAMURA DAISUKE (九大)
Material： 光アライアンス  (Optical Alliance)
Volume： 30  Issue： 1  Page： 38-42  Publication year： Jan. 01, 2019 
JST Material Number： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *pulsed laser deposition ,  *semiconductor thin film ,  *nano particle ,  zinc oxide ,  crystal growth ,  semiconductor ,  laser ablation ,  laser irradiation ,  vortex ,  optical vortex laser irradiation ,  *zinc oxide nanoparticle ,  semiconductor growth
Semi thesaurus term： *PLD(deposition) ,  *ZnO nanoparticle ,  semiconductor crystal growth

JST classification (2)： Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Applications of lasers  (BD04100V)

Terms in the title (4)： ボトムアップ ,  トップダウン ,  レーザー加工 ,  マイクロ結晶