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J-GLOBAL ID：201902259475151785   Reference number：19A1871302

制限背面電極型素子を用いた蓄積電荷測定

Author (8)： TANIMURA TOSHIAKI (兵庫県大 院) ,  OGINO AKINARI (兵庫県大 院) ,  MIYAMOTO YUTA (兵庫県大 院) ,  KADOYA TOMOFUMI (兵庫県大 院) ,  KOMINO TAKESHI (兵庫県大 院) ,  YOKOMATSU TOKUJI (兵庫県大 院) ,  MAENAKA KAZUSUKE (兵庫県大 院) ,  TAJIMA HIROYUKI (兵庫県大 院)
Material： 日本化学会春季年会講演予稿集(CD-ROM)
Volume： 99th  Page： ROMBUNNO.4D3-05  Publication year： Mar. 01, 2019 
JST Material Number： S0493B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *electrical measurement ,  electrode ,  solid state device ,  Aluminum ,  *semiconductor device ,  *voltage dependence ,  *electrostatic capacity ,  electric charge ,  *charge measurement
Semi thesaurus term： ITO electrode ,  *metal-insulator-semiconductor device

JST classification (1)： Metal-insulator-semiconductor structures  (BM03085X)

Terms in the title (4)： 制限 ,  背面電極 ,  蓄積 ,  電荷測定