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J-GLOBAL ID：201902261533713812   Reference number：19A2094405

High-Resolution Piezoelectric Mems Scanner Fully Integrated With Focus-Tuning and Driving Actuators

焦点同調と駆動アクチュエータと完全に集積した高分解能圧電MEMSスキャナ【JST・京大機械翻訳】

Author (4)： Inagaki Shunsuke (Dept. of EEIS, the University of Tokyo, Tokyo, Japan) ,  Okamoto Yuki (Dept. of EEIS, the University of Tokyo, Tokyo, Japan) ,  Higo Akio (VLSI Design and Education Center, the University of Tokyo, Tokyo, Japan) ,  Mita Yoshio (Dept. of EEIS, the University of Tokyo, Tokyo, Japan)
Material： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conf Proc)
Volume： 2019  Issue： TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII  Page： 474-477  Publication year： 2019 
JST Material Number： W2441A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： This paper presents a self-def...

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Thesaurus term： optical scanning ,  direct voltage ,  *scanner ,  *piezoelectricity ,  *tuning ,  *MEMS ,  *high-resolution ,  *actuator
Semi thesaurus term： レーザ走査 ,  印加電圧 ,  圧電アクチュエータ ,  マイクロミラー ,  可変焦点 , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (1)： Graphic and image processing in general  (JE04010I)

Terms in the title (8)： 焦点 ,  同調 ,  アクチュエータ ,  集積 ,  高分解能 ,  圧電 ,  MEMS ,  スキャナ