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J-GLOBAL ID：201902262698131102   Reference number：19A0114283

Observation of DC field-evaporated ion species extracted from transition metal nitride thin film deposited on tungsten-tip

タングステンチップ上に蒸着した遷移金属窒化物薄膜から抽出したDC電界蒸着イオン種の観察【JST・京大機械翻訳】

Author (4)： Nishimura Chikasa (Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University Kyotodaigaku-Katsura, Nishikyo-ku, Kyoto, 615-8510, Japan) ,  Haneji Yuki (Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University Kyotodaigaku-Katsura, Nishikyo-ku, Kyoto, 615-8510, Japan) ,  Tsuji Hiroshi (Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University Kyotodaigaku-Katsura, Nishikyo-ku, Kyoto, 615-8510, Japan) ,  Gotoh Yasuhito (Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University Kyotodaigaku-Katsura, Nishikyo-ku, Kyoto, 615-8510, Japan)
Material： Surface and Interface Analysis  (SIA)
Volume： 51  Issue： 1  Page： 61-64  Publication year： 2019 
JST Material Number： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： The ion species extracted from...

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Thesaurus term： Nitrogen ,  voltage ,  *thin film growth ,  evaporation ,  binding energy ,  Hafnium ,  *electric field ,  *ion ,  electric charge ,  direct voltage ,  *nitride ,  *Tungsten ,  metal ion ,  *thin film ,  work function ,  titanium nitride

Author keywords (3)： atom probe ,  field evaporation mechanism ,  transition metal nitride

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (9)： タングステン ,  蒸着 ,  遷移 ,  金属窒化物 ,  薄膜 ,  DC ,  電界 ,  イオン種 ,  観察