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J-GLOBAL ID：201902272587466352   Reference number：19A0597546

金ナノ粒子触媒を用いてシリコン上に形成した無電解めっき膜の密着性の経時変化

Author (8)： TAKASAKA YUICHI (兵庫県大 大学院工学研究科) ,  FUJII RYO (兵庫県大 大学院工学研究科) ,  YAMADA NAOKI (兵庫県大 大学院工学研究科) ,  FUKUMURO NAOKI (兵庫県大 大学院工学研究科) ,  SAKAMOTO SUSUMU (兵庫県大 大学院工学研究科) ,  SAKAMOTO SUSUMU (日本オイコス) ,  MATSUMOTO AYUMU (兵庫県大 大学院工学研究科) ,  YAE SHINJI (兵庫県大 大学院工学研究科)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 70  Issue： 3  Page： 174-176  Publication year： Mar. 01, 2019 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： silicon ,  single crystal ,  nano particle ,  *nickel plating ,  *plating film ,  *adhesion property ,  time course ,  aging treatment ,  bond strength
Semi thesaurus term： aging ,  silicon ,  gold nanoparticle ,  *electroless nickel plating

JST classification (1)： Electroless plating  (WC08024S)

Reference (11)：

• 1)S. Yae, K. Sakabe, N Fukumuro, S. Sakamoto, H. Matsuda ; J. Electrochem. Soc., 158, D573(2011).
• 2)A. E. Kaloyeros, E. Eisenbraun ; Annu. Rev. Mater. Sci., 30, 363(2000).
• 3)L. Castoldi, G. Visalli, S. Morin, P. Ferrari, S. Alberici, G. Ottaviani, F. Corni, R. Tonini, C. Nobili, and M. Bersani ; Microelectronic Engineering., 76, 153(2004).
• 4)M. Enomoto, S. Yae, S. Sakamoto, N. Fukumuro, H. Matsuda ; J. Surf. Finish. Soc. Jpn., 63, 781(2012).
• 5)M. Enomoto, S. Yae, S. Sakamoto, N. Fukumuro, H. Matsuda ; J. Surf. Finish. Soc. Jpn., 64, 682(2013).

Terms in the title (7)： 金ナノ粒子 ,  触媒 ,  シリコン ,  電解 ,  めっき膜 ,  密着性 ,  経時変化