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J-GLOBAL ID：201902274714764116   Reference number：19A1814808

High-Throughput Investigation of a Lead-Free AlN-Based Piezoelectric Material, (Mg,Hf)_xAl_1-xN

鉛フリーAlNベース圧電材料(Mg,Hf)_xAl_1-xNの高スループット研究【JST・京大機械翻訳】

Author (4)： Nguyen Hung H. (Department of Robotics, Tohoku University, Japan) ,  Oguchi Hiroyuki (Advanced Institute for Materials Research (AIMR), Tohoku University, Japan) ,  Van Minh Le (Department of Robotics, Tohoku University, Japan) ,  Kuwano Hiroki (Department of Robotics, Tohoku University, Japan)
Material： ACS Combinatorial Science  (ACS Comb Sci)
Volume： 19  Issue： 6  Page： 365-369  Publication year： 2017 
JST Material Number： W1756A  ISSN： 2156-8952  CODEN： ACSCCC  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： We conducted a high-throughput...

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Thesaurus term： X-ray diffraction ,  permittivity ,  *piezoelectric material ,  thin film ,  *piezoelectricity ,  characterization ,  *magnesium ,  *aluminum nitride ,  doping ,  single shaft ,  crystal orientation ,  elongation ,  condenser(capacitor) ,  *hafnium ,  aluminum
Semi thesaurus term： *鉛フリー , 【Automatic Indexing@JST】

Author keywords (5)： Mg/Hf codoped AlN ,  piezoelectric material ,  combinatorial approach ,  piezoelectric coefficient ,  dielectric constant

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Metallic thin films  (BK14030T)

Terms in the title (7)： 鉛フリー ,  AlN ,  圧電材料 ,  Mg ,  HF ,  高スループット ,  研究