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J-GLOBAL ID：201902275450507009   Reference number：19A1871683

目直し条件がメカノケミカル砥石による単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響

Author (6)： NAKAYA SHINGO (関西大 大学院) ,  FURUSHIRO NAOMICHI (関西大) ,  YAMAGUCHI TOMOMI (関西大) ,  HIROOKA DAISUKE (関西大) ,  MATSUMORI NOBORU (ミズホ) ,  TANADA KEN'ICHI (ミズホ)
Material： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
Volume： 63  Issue： 8  Page： 415-420  Publication year： Aug. 01, 2019 
JST Material Number： L0473A  ISSN： 0914-2703  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： silicon ,  wafer ,  superfinishing ,  *chemical mechanical polishing ,  abrasive grain ,  barium sulfate ,  grinding stone ,  *dressing(machining) ,  tool wear ,  surface quality ,  locus ,  surface roughness
Semi thesaurus term： *monocrystal silicon ,  Si wafer ,  mechano-chemical polishing ,  super abrasive grain ,  dressing ,  wear of whetstone ,  motion trajectory

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (12)：

• 1) Y. TANI: The Newest Polishing Technology, CMC Publishing, (2012) 57.
• 2) 仙波恒太郎:エレトロニクス用途におけるガラスの超精密加工【技術全集】,技術情報協会,(2008) 14.
• 3) S. AMINO, T. ISHIZU, N. NAKAMURA and T. TAKAHASHI: Grinding Wheel for Large Diameter Monocrystalline SiC Wafer, 2016 JSAT Annual Conference,(2016) 159.
• 4) N. FURUSHIRO, M. HIGUCHI, T. YAMAGUCHI, T. SUGIMOTO, N. MATSUMORI, H. OGURA and S. SHIMADA: Development of Mechanochemical Diamond Stone Containing BaSO₄ Abrasive, Precis. Eng., 34, 3 (2010) 419.10.1016/j.precisioneng.2009.12.004
• 5) N. FURUSHIRO, T. YAMAGUCHI, D. HIROOKA, N. MATSUMORI and H. OGURA: Superfinishing Characteristics of Single Crystal Silicon with Mechanochemical Superabrasive Stone Containing BaSO₄ Abrasive, 14th euspen Int. Conference, (2014) 194.

Terms in the title (4)： 目直し ,  砥石 ,  単結晶シリコン ,  超仕上げ