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J-GLOBAL ID：201902275619677560   Reference number：19A2083364

Development of Operand Desorption Gas Analysis System

オペランド脱着ガス分析システムの開発

Author (4)： KURISU Hiroki (Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN) ,  KIMURA Takayuki (Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN) ,  YAMAMOTO Setsuo (Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN) ,  HIGUCHI Tetsuo (JEOL Ltd., Tokyo, JPN)
Material： Sensors and Materials  (Sens Mater)
Volume： 31  Issue： 8 (2)  Page： 2547-2554  Publication year： 2019 
JST Material Number： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *thermodesorption ,  gas analyzer ,  spectrometer ,  gas chromatography ,  mass spectrometer ,  spectroscopy ,  DC motor ,  solar cell ,  voltage ,  temperature dependence ,  nanometer process ,  vacuum technology ,  *gas analysis
Semi thesaurus term： nanotechnology platform ,  OCV

JST classification (1)： Spectroanalysis  (CC03012W)

Reference (11)：

• H. Kurisu, T. Muranaka, N. Wada, S. Yamamoto, M. Matsuura, and M. Hesaka: J. Vac. Sci. Technol. A 21 (2003) L10.
• H. Kurisu, S. Yamamoto, M. Matsuura, T. Morimoto, and M. Hesaka: J. Vac. Soc. Jpn. 50 (2007) 41.
• H. Kurisu, K. Ishizawa, S. Yamamoto, M. Hesaka, and Y. Saito: J. Phys. Conf. Ser. 100 (2008) 092002.
• M. Takeda, H. Kurisu, S. Yamamoto, H. Nakagawa, and K. Ishizawa: Appl. Surf. Sci. 258 (2011) 1405.
• M. Yamamoto, T. Miyajima, T. Uchiyama, and M. Kobayashi: NanotechJapan Bull. 7 (2014). https://www.nanonet.go.jp/ntjb_pdf/nanotechEXPRESS-35.pdf

Terms in the title (4)： オペランド ,  脱着 ,  ガス分析 ,  開発