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J-GLOBAL ID：201902287656999372   Reference number：19A2189143

パンチアウトターゲットの飛翔状態計測と極端紫外光(EUV)放射特性

Author (13)： SHIMADA YOSHINORI ,  MAEDA SHINSUKE ,  YAMAURA MICHITERU ,  FUJIOKA SHINSUKE ,  SUNAHARA ATSUSHI ,  FURUKAWA HIROYUKI ,  NAGAI KEIJI ,  NISHIMURA HIROAKI ,  NORIMATSU TAKAYOSHI ,  MIYANAGA NORIAKI ,  NISHIHARA KATSUNOBU ,  IZAWA YASUKAZU ,  MIMA KUNIOKI
Material： プラズマ・核融合学会年会(Web)  (プラズマ・核融合学会年会予稿集(Web))
Volume： 24th  Page： ROMBUNNO.27aC21P (WEB ONLY)  Publication year： 2007 
JST Material Number： U1621A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： 飛翔 ,  計測 ,  極端紫外光 ,  EUV ,  放射特性