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J-GLOBAL ID：201902288358777577   Reference number：19A0474551

SEMによるナノ計測を支える認証標準物質

Author (1)： KUMAGAI KAZUHIRO (産業技術総合研 計量標準総合セ)
Material： 計測標準と計量管理  (Measurement Standards and Metrology Management)
Volume： 68  Issue： 4  Page： 64-66  Publication year： Feb. 20, 2019 
JST Material Number： F0771A  ISSN： 1880-1420  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *scanning electron microscope ,  *measurement ,  *certified reference material ,  *wafer ,  *magnification ,  *resolving power ,  *tungsten ,  *performance evaluation ,  *property
Semi thesaurus term： ASEM(microscope) ,  silicon substrate ,  nanometrology ,  image resolution ,  proficiency

JST classification (5)： Electron and ion microscopes  (BD02050B) ,  Graphic and image processing in general  (JE04010I) ,  Research and development  (CA01040B) ,  Units,standards,primary standards,constants  (AD03000E) ,  Standardization and standards of technologies  (HA02000V)

Reference (4)：

• NMIJ認証標準物質(NMIJ CRM) https://www.nmij.jp/service/C/
• ISO/TS 24597: 2011 Microbeam analysis-Scanning electron microscopy- Methods of evaluating image sharpness. International Organization for Standardization (2011).
• 佐藤 貢,精密工学誌,79(11),1009(2013)
• K. Kumagai and A. Kurokawa, Microsc. Microanal., 22 (S3), 448 (2016).

Terms in the title (3)： SEM ,  ナノ計測 ,  認証標準物質