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J-GLOBAL ID:201903000490914148

3次元量子構造の評価方法、3次元量子構造評価装置、及びコンピュータプログラム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 坂本 寛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2018002667
Publication number (International publication number):2019120668
Application date: Jan. 11, 2018
Publication date: Jul. 22, 2019
Summary:
【課題】3次元量子構造の形態が変化する場合において、変化した3次元量子構造の評価がその場で行えるようにする。【解決手段】3次元量子構造の評価方法は、3次元量子構造の形態が変化する状況において前記3次元量子構造に波動性ビームを照射して、前記3次元構造による回折強度を測定し、前記回折強度の変化の度合いに関する変化度パラメータを求め、前記変化度パラメータと前記3次元量子構造の形態に依存する値との相関情報に基づいて、前記変化度パラメータから、前記3次元量子構造の形態に依存する値を求めることを含む。【選択図】図1
Claim (excerpt):
3次元量子構造の形態が変化する状況において前記3次元量子構造に波動性ビームを照射して、前記3次元量子構造による回折強度を測定し、 前記回折強度の変化の度合いに関する変化度パラメータを求め、 前記変化度パラメータと前記3次元量子構造の形態に依存する値との相関情報に基づいて、前記変化度パラメータから、前記3次元量子構造の形態に依存する値を求める ことを含む3次元量子構造の評価方法。
IPC (1):
G01N 23/200
FI (1):
G01N23/20058
F-Term (7):
2G001AA03 ,  2G001BA18 ,  2G001CA03 ,  2G001DA09 ,  2G001GA06 ,  2G001KA08 ,  2G001MA04
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 光制御素子及びその生産方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2007-310718   Applicant:国立大学法人筑波大学, 国立大学法人電気通信大学
Article cited by the Patent:
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