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J-GLOBAL ID：201903003385102536

光学部材の評価装置

Inventor： 若山 雄太 ,  釣谷 剛宏 ,  岡本 淳 ,  後藤 優太
Applicant, Patent owner： KDDI株式会社 ,  国立大学法人北海道大学
Agent (8)： 大塚 康徳 ,  大塚 康弘 ,  高柳 司郎 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光 ,  坂本 隆志 ,  前田 浩次
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2016007214
Publication number (International publication number)：2017129382
Patent number：6531318
Application date： Jan. 18, 2016
Publication date： Jul. 27, 2017
Claim (excerpt)：

【請求項1】 評価対象の光学部材を通過した物体光により当該光学部材の評価を行う評価装置であって、 前記物体光を分岐する分岐手段と、 前記分岐手段が分岐した一方の物体光が通過し、前記一方の物体光に対して通過する空間位置に応じた位相遅延を与える位相調整手段と、 前記位相調整手段を通過した物体光に対して空間周波数に基づくローパスフィルタ処理を行い参照光として出力する生成手段と、 前記参照光と、前記分岐手段が分岐した他方の物体光を干渉させて干渉縞を生じさせる干渉手段と、 前記干渉縞を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段が撮像した干渉縞に基づき前記物体光の位相の空間分布を求め、前記求めた位相の空間分布に基づき前記位相調整手段を制御する制御手段と、 を備えていることを特徴とする評価装置。

IPC (3)：

G01M 11/00 ( 200 6.01) ,  G01B 9/02 ( 200 6.01) ,  G01J 9/02 ( 200 6.01)

FI (3)：

G01M 11/00 Q ,  G01B 9/02 ,  G01J 9/02