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J-GLOBAL ID：201903008211712876

バルブ、流体デバイス、流体制御方法及びバルブの製造方法

Inventor： 一木 隆範 ,  寺根 将太郎 ,  鈴木 久皇
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 東京大学 ,  株式会社ニコン
Agent (3)： 西澤 和純 ,  大浪 一徳 ,  小林 淳一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019093175
Publication number (International publication number)：2019148340
Application date： May. 16, 2019
Publication date： Sep. 05, 2019
Summary：

【課題】耐久性に優れたバルブ、流体デバイス、流体制御方法及びバルブの製造方法を提供する。【解決手段】外筒部と内筒部とを有する筒状構造体と、内筒部の一端を覆うように配置された薄膜部と、薄膜部の周縁を一周し、外筒部の内壁及び内筒部の外壁に沿って密着したアンカー部と、を有するダイアフラム部材と、を備えたバルブ。【選択図】図4A

Claim (excerpt)：

外筒部と内筒部とを有する筒状構造体と、 前記内筒部の一端を覆うように配置された薄膜部と、前記薄膜部の周縁を一周し、前記外筒部の内壁及び前記内筒部の外壁に沿って密着したアンカー部と、を有するダイアフラム部材と、を備え、 流路に配設され、前記薄膜部を変形させることにより、前記流路を流れる流体の流れを制御する、バルブ。

IPC (4)：

F16K 7/12 ,  F04B 9/08 ,  B81B 3/00 ,  B81C 3/00

FI (4)：

F16K7/12 B ,  F04B9/08 H ,  B81B3/00 ,  B81C3/00

F-Term (15)：

3C081AA01 ,  3C081AA07 ,  3C081BA23 ,  3C081BA25 ,  3C081BA45 ,  3C081BA48 ,  3C081CA05 ,  3C081CA38 ,  3C081DA10 ,  3C081EA33 ,  3H075AA01 ,  3H075BB04 ,  3H075BB14 ,  3H075CC18 ,  3H075DA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭54-035413
  
• 二方弁
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2012-140913   Applicant：SMC株式会社
• 制御弁
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-119830   Applicant：株式会社デンソー
• 特許第6416038号