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J-GLOBAL ID：201903009299236170

検査方法、および検査装置

Inventor： 橋本 優史
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 特許業務法人深見特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017218157
Publication number (International publication number)：2019090643
Application date： Nov. 13, 2017
Publication date： Jun. 13, 2019
Summary：

【課題】検査対象物の欠陥をより精度よく検出することが可能な検査方法、および検査装置を提供する。【解決手段】検査対象物の表面上の欠陥を検出する検査方法は、検査対象物の撮像画像を取得するステップと、撮像画像の各画素について、当該画素の各隣接画素の画素値と当該画素の画素値とを比較することにより当該画素の画素値の勾配方向を算出するステップと、撮像画像の各画素について、当該画素の画素値の勾配方向を微分方向として当該画素をn(nは2以上の自然数)階以上微分して当該画素のn階微分値を算出するステップと、撮像画像の各画素のうち、算出されたn階微分値の絶対値が閾値以上である画素を、検査対象物の欠陥の輪郭周辺画素として抽出するステップとを含む。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

検査対象物の表面上の欠陥を検出する検査方法であって、 前記検査対象物の撮像画像を取得するステップと、 前記撮像画像の各画素について、当該画素の各隣接画素の画素値と当該画素の画素値とを比較することにより当該画素の画素値の勾配方向を算出するステップと、 前記撮像画像の各画素について、当該画素の画素値の勾配方向を微分方向として当該画素をn(nは2以上の自然数)階以上微分して当該画素のn階微分値を算出するステップと、 前記撮像画像の各画素のうち、前記算出されたn階微分値の絶対値が閾値以上である画素を、前記検査対象物の欠陥の輪郭周辺画素として抽出するステップとを含む、検査方法。

IPC (1)：

G01N 21/88

FI (1)：

G01N21/88 Z

F-Term (15)：

2G051AA61 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2G051DA13 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EC03 ,  2G051ED07