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J-GLOBAL ID：201903010636907020

波面制御素子の製造方法

Inventor： 矢代 航 ,  加藤 秀実 ,  北條 大介
Applicant, Patent owner： 国立大学法人東北大学
Agent (2)： 須田 篤 ,  楠 修二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2018087478
Publication number (International publication number)：2019191114
Application date： Apr. 27, 2018
Publication date： Oct. 31, 2019
Summary：

【課題】より低いコストで、数10μm以下の構造を有する波面制御素子を製造することができる、波面制御素子の製造方法を提供する。【解決手段】周期的に凹凸を有する型11を用い、金属元素を含む材料粒子を、遠心充填により型11の凹部に充填して波面制御素子を製造する。型11は、凹部の深さが10μm以上300μm以下、凹凸の周期が100nm以上100μm以下であり、材料粒子は、直径が5nm以上10μm以下であり、凹部に充填可能な大きさを有している。遠心充填は、回転数が40000rpm以上である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

周期的に凹凸を有する型を用い、金属元素を含む材料粒子を、遠心充填により前記型の凹部に充填して波面制御素子を製造することを特徴とする波面制御素子の製造方法。

IPC (5)：

G21K 1/06 ,  B22F 7/06 ,  B22F 7/08 ,  B22F 1/00 ,  B22F 3/06

FI (7)：

G21K1/06 D ,  B22F7/06 A ,  B22F7/08 E ,  B22F1/00 P ,  B22F1/00 K ,  B22F1/00 R ,  B22F3/06

F-Term (16)：

4K018AA02 ,  4K018AA08 ,  4K018AA19 ,  4K018AA40 ,  4K018BA01 ,  4K018BA04 ,  4K018BA09 ,  4K018BA20 ,  4K018BB04 ,  4K018BB07 ,  4K018BD04 ,  4K018CA40 ,  4K018DA11 ,  4K018DA18 ,  4K018JA22 ,  4K018KA61