懸架する二次元ナノ材料の製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)： TRY国際特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019010336
Publication number (International publication number)：2019127434
Application date： Jan. 24, 2019
Publication date： Aug. 01, 2019
Summary：

【課題】懸架する二次元ナノ材料の製造方法の提供。【解決手段】S1:第一基板101の表面に二次元ナノ材料層102を形成する。S2:カーボンナノチューブフィルム構造体103で二次元ナノ材料層102を覆う。S3:腐食溶液で第一基板101を除去し、二次元ナノ材料層102及びカーボンナノチューブフィルム構造体103からなる二次元ナノ材料層/カーボンナノチューブフィルム構造体の複合構造体を獲得し、洗浄液に置き、洗浄する。S4:少なくとも一つのスルーホール105を有するターゲット基板104を提供し、洗浄液から複合構造体を掬い上げ、二次元ナノ材料層102をターゲット基板104と接合させ、ターゲット基板104の少なくとも一つのスルーホール105を覆う。S5:カーボンナノチューブフィルム構造体103を除去し、二次元ナノ材料層102がターゲット基板104の表面に転写されてスルーホール105の位置に懸架される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

第一基板を提供して、前記第一基板の表面に二次元ナノ材料層が形成されるステップと、カーボンナノチューブフィルム構造体で前記二次元ナノ材料層を覆うステップと、腐食溶液で前記第一基板を除去し、前記二次元ナノ材料層及び前記カーボンナノチューブフィルム構造体からなる二次元ナノ材料層/カーボンナノチューブフィルム構造体の複合構造体を獲得し、前記二次元ナノ材料層/カーボンナノチューブフィルム構造体の複合構造体を洗浄液に置き、洗浄するステップと、少なくとも一つのスルーホールを有するターゲット基板を提供し、前記ターゲット基板を利用し、洗浄液から前記二次元ナノ材料層/カーボンナノチューブフィルム構造体の複合構造体を掬い上げ、前記二次元ナノ材料層を前記ターゲット基板と接合させ、前記ターゲット基板の少なくとも一つのスルーホールを覆わせるステップと、前記カーボンナノチューブフィルム構造体を除去し、前記二次元ナノ材料層が前記ターゲット基板の表面に転写されてスルーホールの位置に懸架されるステップと、を含むことを特徴とする懸架する二次元ナノ材料の製造方法。

IPC (3)：

C01B 32/194 , B82Y 40/00 , C01B 32/168

FI (3)：

C01B32/194 , B82Y40/00 , C01B32/168

F-Term (13)：

4G146AA01 , 4G146AA11 , 4G146AB06 , 4G146AB07 , 4G146AD05 , 4G146AD17 , 4G146BC09 , 4G146CA16 , 4G146CB12 , 4G146CB19 , 4G146CB26 , 4G146CB29 , 4G146CB32

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