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J-GLOBAL ID：201903011889480674

気体分子成分検出装置、検出方法および検出装置の作製方法

Inventor： 加納 伸也 ,  藤井 稔 ,  佐々木 誠仁
Applicant, Patent owner： 国立大学法人神戸大学
Agent (1)： 特許業務法人グローバル知財
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2015160825
Publication number (International publication number)：2017040490
Patent number：6512578
Application date： Aug. 18, 2015
Publication date： Feb. 23, 2017
Claim (excerpt)：

【請求項1】 絶縁基板、若しくは、絶縁体で表面が被覆された基板と、 前記基板に積層されたシリコンナノ結晶薄膜と、 前記シリコンナノ結晶薄膜の電気伝導特性を測定する手段を備える装置において、 前記シリコンナノ結晶薄膜を構成するシリコンナノ結晶粒子は、粒子表面にホウ素(B)とリン(P)がドーピングされたことを特徴とする気体分子成分検出装置。

IPC (2)：

G01N 27/04 ( 200 6.01) ,  G01N 27/12 ( 200 6.01)

FI (5)：

G01N 27/04 B ,  G01N 27/04 F ,  G01N 27/12 E ,  G01N 27/12 H ,  G01N 27/12 C