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J-GLOBAL ID:201903013206789457

センサ、及び、センサ製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 若山 剛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2018063987
Publication number (International publication number):2019174331
Application date: Mar. 29, 2018
Publication date: Oct. 10, 2019
Summary:
【課題】対象を高い精度にて検出することが可能なセンサを提供すること。【解決手段】センサ1は、平板状であり、且つ、第1方向における第1端1321が支持されるとともに、厚さ方向における両端面のうちの少なくとも一方にて開口する収容空間を有する本体部132と、対象の量に応じて体積が変化するとともに、少なくとも一部が収容空間に収容されるように本体部132により支持される体積変化体14と、本体部132のうちの、第1方向における第2端1322に連接し、且つ、体積変化体14の体積の変化に伴って生じる応力を検出する検出部133と、を備える。体積変化体14は、弾性率が本体部132よりも低い材料からなる。【選択図】図1
Claim (excerpt):
平板状であり、且つ、第1方向における第1端が支持されるとともに、厚さ方向における両端面のうちの少なくとも一方にて開口する収容空間を有する本体部と、 対象の量に応じて体積が変化するとともに、少なくとも一部が前記収容空間に収容されるように前記本体部により支持される体積変化体と、 前記本体部のうちの、前記第1方向における第2端に連接し、且つ、前記体積変化体の体積の変化に伴って生じる応力を検出する検出部と、 を備え、 前記体積変化体は、弾性率が前記本体部よりも低い材料からなる、センサ。
IPC (1):
G01L 1/18
FI (1):
G01L1/18 A
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
  • 特許第5743026号
  • 特許第5649138号
  • 特許第5891465号
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