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J-GLOBAL ID:201903014448014405

粒子線を用いた測定方法および測定システム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 青稜特許業務法人
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2017180055
Publication number (International publication number):2019056587
Application date: Sep. 20, 2017
Publication date: Apr. 11, 2019
Summary:
【課題】粒子線実験において、粒子線照射にかける時間を短縮する。【解決手段】 試料に粒子線を照射し、照射により得られる測定対象粒子の数をカウントし、測定対象粒子の分布を用いて試料を評価する際に、測定対象粒子がスムーズな確率密度分布にしたがい現れると仮定して分布を求め、分布が真の確率密度分布と一致するという仮説について統計的な検定を行い、仮説が適合という結果ならば、粒子線の照射を終了する、ことを特徴とする粒子線を用いた測定方法が開示される。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
試料に粒子線を照射し、前記照射により得られる測定対象粒子の数をカウントし、 前記測定対象粒子の分布を用いて前記試料を評価する際に、 前記測定対象粒子がスムーズな確率密度分布にしたがい現れると仮定して前記分布を求め、 前記分布が真の確率密度分布と一致するという仮説について統計的な検定を行い、 前記仮説が適合という結果ならば、前記粒子線の前記照射を終了する、 ことを特徴とする測定方法。
IPC (1):
G01N 23/20
FI (1):
G01N23/20
F-Term (15):
2G001AA01 ,  2G001AA02 ,  2G001AA03 ,  2G001AA04 ,  2G001AA05 ,  2G001BA14 ,  2G001CA01 ,  2G001CA02 ,  2G001CA03 ,  2G001CA04 ,  2G001CA05 ,  2G001FA24 ,  2G001GA01 ,  2G001GA13 ,  2G001KA01

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