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J-GLOBAL ID：201903020050700023

分光解析装置及び分光解析方法

Inventor： 長谷川 健 ,  塩谷 暢貴
Applicant, Patent owner： 国立大学法人京都大学
Agent (1)： 生井 和平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017222322
Publication number (International publication number)：2019095220
Application date： Nov. 17, 2017
Publication date： Jun. 20, 2019
Summary：

【課題】光源から支持体に照射される光の入射角を固定しても薄膜面内・面外吸光度スペクトルを得ることが可能な分光解析装置を提供する。【解決手段】分光解析装置は、光源1と支持体2と直線偏光フィルタ3と検出部4と回帰演算部5と吸光度スペクトル算出部6とからなる。支持体2は、所定の入射角θとなるように固定される。直線偏光フィルタ3は、0°から90°の範囲の偏光角φnの光が支持体2に照射されるように構成される。検出部4は、偏光角φnの透過光から透過スペクトルSを検出する。回帰演算部5は、透過スペクトルSと、混合比率Rとを用いて、回帰分析により面内・面外スペクトルsip,sopを得る。吸光度スペクトル算出部6は、支持体2に薄膜が支持される状態と支持されない状態で得られる面内・面外スペクトルを基に、薄膜面内・薄膜面外吸光度スペクトルAip,Aopを算出する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

薄膜の分子配向を解析するための分光解析装置であって、該分光解析装置は、 所定の波長の光を照射可能な光源と、 前記光源から照射される光に対して光学的に透明であり解析される薄膜を支持するための支持体であって、光源から支持体に照射される光の入射角が支持体に固有の所定の入射角θとなるように固定される支持体と、 前記光源と支持体との間に配置される直線偏光フィルタであって、0°から90°の範囲で任意のステップのn個(n=3,4,・・・)の異なる偏光角φnの光が支持体に照射されるように偏光角を可変可能な直線偏光フィルタと、 前記直線偏光フィルタによるn個の異なる偏光角φnの光が支持体を透過する透過光を受光し、透過スペクトルSを検出する検出部と、 前記直線偏光フィルタによるn個の異なる偏光角φnの光に対して検出部により検出される透過スペクトルSと、偏光角毎の面内スペクトルsip及び面外スペクトルsopの混合比率Rとを用いて、回帰分析により面内スペクトルsip及び面外スペクトルsopを得る回帰演算部と、 前記支持体に薄膜が支持される状態と支持されない状態で前記回帰演算部によりそれぞれ得られる面内スペクトルsip及び面外スペクトルsopを基に、薄膜面内吸光度スペクトルAip及び薄膜面外吸光度スペクトルAopを算出する吸光度スペクトル算出部と、 を具備することを特徴とする分光解析装置。

IPC (3)：

G01J 3/447 ,  G01J 3/42 ,  G01N 21/21

FI (3)：

G01J3/447 ,  G01J3/42 ,  G01N21/21 Z

F-Term (36)：

2G020AA03 ,  2G020AA04 ,  2G020AA05 ,  2G020AA06 ,  2G020BA04 ,  2G020BA18 ,  2G020CA02 ,  2G020CA12 ,  2G020CA15 ,  2G020CB42 ,  2G020CB43 ,  2G020CB44 ,  2G020CB45 ,  2G020CC01 ,  2G020CC22 ,  2G020CC29 ,  2G020CD04 ,  2G020CD13 ,  2G020CD21 ,  2G059AA03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059CC13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE05 ,  2G059EE10 ,  2G059EE12 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059HH05 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01