Pat

J-GLOBAL ID：201903020363043635

ラマン散乱光測定装置、探針及び探針の製造方法

Inventor： 板坂 浩樹 ,  西 正之 ,  平尾 一之 ,  奥野 義人 ,  中田 靖 ,  中 庸行
Applicant, Patent owner： 国立大学法人京都大学 ,  株式会社堀場製作所
Agent (2)： 河野 英仁 ,  河野 登夫
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2017009909
Publication number (International publication number)：WO2017159593
Application date： Mar. 13, 2017
Publication date： Sep. 21, 2017
Summary：

高感度にラマン散乱光を測定することを可能にするラマン散乱光測定装置、探針及び探針の製造方法を提供する。 探針(12)の先端へ集束イオンビームを照射することにより、探針(12)の先端を除去して先端面(14)を形成する。次に、探針(12)を塩化金酸水溶液(金属イオン含有溶液)に浸漬させる。先端面(14)にAuが析出し、Auナノ構造体(金属ナノ構造体)の集合体(13)が形成される。探針(12)は先端増強ラマン散乱の測定に使用される。ラマン散乱光測定装置では、試料載置面(51)の垂線(53)に対して、探針(12)の先端面(14)が非直角になり、レンズ(4)の光軸(41)が傾いている。試料(52)上のラマン散乱光が発生する部分とレンズ(4)との間にある探針(12)の部分が少なく、発生したラマン散乱光が探針(12)によって吸収又は反射される割合が低く、レンズ(4)でラマン散乱光を集光する効率が高い。

Claim (excerpt)：

試料が載置される試料載置面と、半導体製の探針と、前記試料に近接又は接触した前記探針の先端部へ光を照射する照射部と、前記試料から発生するラマン散乱光を集光するレンズと、該レンズが集光したラマン散乱光を検出する検出部とを備えるラマン散乱光測定装置において、 前記レンズ及び前記探針は、前記試料載置面に対向する位置に配置され、 前記レンズは、前記試料載置面の垂線に対して光軸を傾けて配置されており、 前記探針は、前記垂線に対して非直角な先端面と、該先端面から突出した金属構造体とを有していること を特徴とするラマン散乱光測定装置。

IPC (3)：

G01N 21/65 ,  G01Q 60/38 ,  C23C 18/38

FI (4)：

G01N21/65 ,  G01Q60/38 101 ,  G01Q60/38 111 ,  C23C18/38

F-Term (30)：

2G043AA03 ,  2G043CA05 ,  2G043EA03 ,  2G043FA02 ,  2G043GA06 ,  2G043GA07 ,  2G043GA08 ,  2G043GB01 ,  2G043GB03 ,  2G043GB21 ,  2G043HA01 ,  2G043HA09 ,  2G043HA15 ,  2G043JA02 ,  2G043JA03 ,  2G043JA04 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G043MA16 ,  4K022AA05 ,  4K022AA41 ,  4K022BA03 ,  4K022BA31 ,  4K022BA35 ,  4K022CA03 ,  4K022CA04 ,  4K022CA12 ,  4K022DA01 ,  4K022DB01 ,  4K022DB30