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J-GLOBAL ID：201903020432447050

探索装置、探索方法及び製造システム

Inventor： 中村 浩之 ,  赤穗 昭太郎 ,  兼村 厚範
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
Agent (2)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2018036707
Publication number (International publication number)：2019152986
Application date： Mar. 01, 2018
Publication date： Sep. 12, 2019
Summary：

【課題】製造装置の稼働条件を定める複数のパラメータを効率的に探索することのできる探索装置、探索方法及び製造システムを提供する。【解決手段】探索装置10は、製造物を製造する製造装置20の稼働条件を定める複数のパラメータを特定の値に設定して製造装置を稼働させる稼働制御部16と、特定の値で製造装置を稼働させた場合に製造された製造物を分析した分析値を取得する取得部11と、分析値に基づいて、特定の値で製造装置を稼働させた結果を評価する目的関数の値を算出する第1算出部12と、目的関数の値に基づいて、複数のパラメータを任意の値に設定して製造装置を稼働させた場合に、目的関数の値を改善することができる確率及びその不確実性を評価する獲得関数の値を算出する第2算出部14と、獲得関数の値に基づいて、稼働制御部に設定させる複数のパラメータの値を決定する決定部15と、を備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

製造物を製造する製造装置の稼働条件を定める複数のパラメータを特定の値に設定して前記製造装置を稼働させる稼働制御部と、 前記特定の値で前記製造装置を稼働させた場合に製造された前記製造物を分析した分析値を取得する取得部と、 前記分析値に基づいて、前記特定の値で前記製造装置を稼働させた結果を評価する目的関数の値を算出する第1算出部と、 前記目的関数の値に基づいて、前記複数のパラメータを任意の値に設定して前記製造装置を稼働させた場合に、前記目的関数の値を改善することができる確率及びその不確実性を評価する獲得関数の値を算出する第2算出部と、 前記獲得関数の値に基づいて、前記稼働制御部に設定させる前記複数のパラメータの値を決定する決定部と、 を備える探索装置。

IPC (2)：

G05B 23/02 ,  G05B 19/418

FI (2)：

G05B23/02 F ,  G05B19/418 Z

F-Term (21)：

3C100AA03 ,  3C100AA16 ,  3C100AA29 ,  3C100AA57 ,  3C100AA58 ,  3C100AA62 ,  3C100BB13 ,  3C100BB15 ,  3C100BB27 ,  3C100EE11 ,  3C223AA05 ,  3C223AA11 ,  3C223BA03 ,  3C223CC02 ,  3C223DD03 ,  3C223EB01 ,  3C223FF04 ,  3C223FF24 ,  3C223GG01 ,  3C223HH02 ,  3C223HH29

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 具現化された化学合成を含む進化的合成の方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2015-513279   Applicant：ザユニヴァーシティーコートオブザユニヴァーシティーオブグラスゴー

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• ベイズ的最適化と転移学習を用いた製造設備スケールアップ時の操業条件最適化