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J-GLOBAL ID：201903020432447050

探索装置、探索方法及び製造システム

Inventor：
中村 浩之

About 中村 浩之

, 
赤穗 昭太郎

About 赤穗 昭太郎

, 
兼村 厚範

About 兼村 厚範


Applicant, Patent owner：
国立研究開発法人産業技術総合研究所

About 国立研究開発法人産業技術総合研究所


Agent (2)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2018036707
Publication number (International publication number)：2019152986
Application date： Mar. 01, 2018
Publication date： Sep. 12, 2019
Summary：
【課題】製造装置の稼働条件を定める複数のパラメータを効率的に探索することのできる探索装置、探索方法及び製造システムを提供する。【解決手段】探索装置10は、製造物を製造する製造装置20の稼働条件を定める複数のパラメータを特定の値に設定して製造装置を稼働させる稼働制御部16と、特定の値で製造装置を稼働させた場合に製造された製造物を分析した分析値を取得する取得部11と、分析値に基づいて、特定の値で製造装置を稼働させた結果を評価する目的関数の値を算出する第1算出部12と、目的関数の値に基づいて、複数のパラメータを任意の値に設定して製造装置を稼働させた場合に、目的関数の値を改善することができる確率及びその不確実性を評価する獲得関数の値を算出する第2算出部14と、獲得関数の値に基づいて、稼働制御部に設定させる複数のパラメータの値を決定する決定部15と、を備える。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
製造物を製造する製造装置の稼働条件を定める複数のパラメータを特定の値に設定して前記製造装置を稼働させる稼働制御部と、 前記特定の値で前記製造装置を稼働させた場合に製造された前記製造物を分析した分析値を取得する取得部と、 前記分析値に基づいて、前記特定の値で前記製造装置を稼働させた結果を評価する目的関数の値を算出する第1算出部と、 前記目的関数の値に基づいて、前記複数のパラメータを任意の値に設定して前記製造装置を稼働させた場合に、前記目的関数の値を改善することができる確率及びその不確実性を評価する獲得関数の値を算出する第2算出部と、 前記獲得関数の値に基づいて、前記稼働制御部に設定させる前記複数のパラメータの値を決定する決定部と、 を備える探索装置。
IPC (2)：
G05B 23/02 ,  G05B 19/418
FI (2)：
G05B23/02 F ,  G05B19/418 Z
F-Term (21)：
3C100AA03 ,  3C100AA16 ,  3C100AA29 ,  3C100AA57 ,  3C100AA58 ,  3C100AA62 ,  3C100BB13 ,  3C100BB15 ,  3C100BB27 ,  3C100EE11 ,  3C223AA05 ,  3C223AA11 ,  3C223BA03 ,  3C223CC02 ,  3C223DD03 ,  3C223EB01 ,  3C223FF04 ,  3C223FF24 ,  3C223GG01 ,  3C223HH02 ,  3C223HH29
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (1)
Article cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (1)

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