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J-GLOBAL ID：202002210703914021   Reference number：20A1610037

精密位置決め技術の最新動向と要素技術を活かした設計への展開 PART1 最新の位置決め技術 解説1 精密位置決めのための多軸センサ活用

Author (3)： SHIMIZU YUKI (東北大 大学院工学研究科) ,  MATSUKUMA HIRAKU (東北大 大学院工学研究科) ,  KO I (東北大 大学院工学研究科)
Material： 機械設計  (Machine Design)
Volume： 64  Issue： 9  Page： 9-13  Publication year： Aug. 01, 2020 
JST Material Number： G0863A  ISSN： 0387-1045  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *positioning ,  position control ,  refinement ,  positioning device ,  ultraprecision machining ,  *multiaxial ,  position sensor ,  diffraction grating ,  optical interference ,  displacement measurement ,  lithography ,  *precise positioning ,  *linear encoder ,  *displacement sensor
Semi thesaurus term： 光干渉リソグラフィー

JST classification (3)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Optical instruments and techniques in general  (BD07010S) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 精密位置決め ,  最新動向 ,  要素技術 ,  設計 ,  展開 ,  多軸 ,  活用