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J-GLOBAL ID：202002213383695659   Reference number：20A0492475

On-Chip CMOS-MEMS-Based Electroosmotic Flow Micropump Integrated With High-Voltage Generator

高電圧発生器と統合したオンチップCMOS-MEMSベース電気浸透流マイクロポンプ【JST・京大機械翻訳】

Author (5)： Okamoto Yuki (Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo, Tokyo, Japan) ,  Ryoson Hiroyuki (Tokyo Institute of Technology, Suzukakedai Campus, Yokohama, Japan) ,  Fujimoto Koji (Tokyo Institute of Technology, Suzukakedai Campus, Yokohama, Japan) ,  Ohba Takayuki (Tokyo Institute of Technology, Suzukakedai Campus, Yokohama, Japan) ,  Mita Yoshio (Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
Material： Journal of Microelectromechanical Systems  (J Microelectromechanical Syst)
Volume： 29  Issue： 1  Page： 86-94  Publication year： 2020 
JST Material Number： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： The rapid development of micro...

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Thesaurus term： *complementary metal oxide semiconductor ,  microfluidic device ,  *electroosmosis ,  flow velocity ,  flow rate ,  reliability(property) ,  *MEMS ,  *micropump ,  driving circuit ,  aftertreatment
Semi thesaurus term： ラボオンチップ装置 ,  チャージポンプ回路 ,  マイクロ流体 ,  *電気浸透流 ,  *オンチップ , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 高電圧発生器 ,  統合 ,  オンチップ ,  CMOS ,  MEMS ,  電気浸透流 ,  マイクロポンプ