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J-GLOBAL ID：202002221916400224   Reference number：20A0420219

Low-dimensional heterostructures obtaining from an intelligent material and carbon material on a silicon

シリコン上のインテリジェント材料と炭素材料から得た低次元ヘテロ構造【JST・京大機械翻訳】

Author (6)： Gurin S. A. (CJSC Medtekhnika, Penza 440018, Russia) ,  Pecherskaya E. A. (Department of Information and measuring equipment and metrology, Penza State University, Penza 440026, Russia) ,  Fimin A.B. (Department of Information and measuring equipment and metrology, Penza State University, Penza 440026, Russia) ,  Nikolaev K.O. (Department of Information and measuring equipment and metrology, Penza State University, Penza 440026, Russia) ,  Shepeleva Y.V. (Department of Information and measuring equipment and metrology, Penza State University, Penza 440026, Russia) ,  Artamonov D.V. (Department of Information and measuring equipment and metrology, Penza State University, Penza 440026, Russia)
Material： Journal of Physics: Conference Series
Volume： 1410  Issue： 1  Page： 012021 (5pp)  Publication year： 2019 
JST Material Number： W5565A  ISSN： 1742-6588  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： The results of the study of th...

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Thesaurus term： intelligent material ,  sensor ,  silicon dioxide ,  *silicon ,  *carbon material ,  rocket ,  space technology ,  silicon carbide ,  adaptability ,  silicon nitride
Semi thesaurus term： シリコンウエハ ,  一酸化ケイ素 ,  マイクロカンチレバー ,  *ヘテロ構造 ,  *低次元 , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (2)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： シリコン ,  インテリジェント材料 ,  炭素材料 ,  低次元 ,  ヘテロ構造