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J-GLOBAL ID：202002232114872481   Reference number：20A0495719

Combined Application of AFM-XRD-SIMS to Characterize Crystal Properties in Electroless Nickel Metal Induced by Trace Contaminants

微量汚染物質によって誘起された無電解ニッケル金属における結晶特性を特性化するためのAFM-XRD-SIMSの組合せ適用【JST・京大機械翻訳】

Author (4)： Wai Wan Tatt (Unit Process, Infineon Technologies Kulim,Malaysia,09000) ,  Wei Cheat Lee (Failure Analysis, Infineon Technologies Kulim,Malaysia,09000) ,  Sing Lim Saw (Failure Analysis, Infineon Technologies Kulim,Malaysia,09000) ,  Nurhanani Zakaria (Failure Analysis, Infineon Technologies Kulim,Malaysia,09000)
Material： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conf Proc)
Volume： 2019  Issue： IPFA  Page： 1-4  Publication year： 2019 
JST Material Number： W2441A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： The crystal properties of elec...

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Thesaurus term： characterization ,  pretreatment ,  *crystal ,  *X-ray diffraction ,  crystal orientation ,  *pollutant ,  atomic force microscope ,  copper
Semi thesaurus term： 水素ガス ,  *無電解ニッケル ,  微量汚染物質 , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (2)： Examination and measurement of air quality  (SB03040I) ,  Aerospheric environmental pollution  (SB03020M)

Terms in the title (9)： 微量汚染物質 ,  誘起 ,  無電解ニッケル ,  結晶 ,  特性化 ,  AFM ,  XRD ,  SIMS ,  組合せ