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J-GLOBAL ID：202002233969430590   Reference number：20A0941805

Fundamental Study on Microfluidic Fabrication on Quartz Glass Substrate with CO₂ Laser

炭酸ガスレーザによる石英ガラス基板へのマイクロ流路加工に関する基礎的研究

Author (4)： TAKAMATSU YUUMI (崇城大) ,  KITADA RYOJI (崇城大) ,  AMAYA SATOSHI (理研 生命機能科学研究セ) ,  TANAKA YO (理研 生命機能科学研究セ)
Material： 日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会(CD-ROM)  (日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会講演論文集(CD-ROM))
Volume： 13th  Page： ROMBUNNO.B09  Publication year： 2019 
JST Material Number： L3643B  ISSN： 2424-3094  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *substrate(plate) ,  *electric apparatus and parts ,  carbon dioxide laser ,  *micro channel ,  *fine patterning
Semi thesaurus term： *glass substrate ,  microchannel

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： 炭酸ガスレーザ ,  石英ガラス ,  マイクロ流路 ,  基礎的研究