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J-GLOBAL ID：202002255090666502   Reference number：20A2589477

Research progress on piezoelectric coefficient test methods for thin film piezoelectric materials

薄膜圧電材料の圧電係数試験方法に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Author (2)： Ren Zhonghao (山東大学机械工程学院,山東済南250061) ,  Zhou Shenjie (山東大学机械工程学院,山東済南250061)
Material： Chuanganqi yu Wei Xitong
Volume： 39  Issue： 10  Page： 1-4  Publication year： 2020 
JST Material Number： C3686A  ISSN： 1000-9787  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： China (CHN)  Language： CHINESE (ZH)

Thesaurus term： resonance (vibration) ,  simulation ,  *thin film ,  material testing ,  cantilever beam ,  *piezoelectric material ,  X-ray diffractometry ,  acoustic wave ,  Microscopy ,  surface acoustic wave ,  aerodynamic load ,  piezoelectric effect ,  *test method ,  *piezoelectric constant
Semi thesaurus term： ハイスループット , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (1)： Piezoelectricity,pyroelectricity,electret  (BM05040M)

Terms in the title (5)： 薄膜 ,  圧電材料 ,  圧電係数 ,  試験方法 ,  研究