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J-GLOBAL ID：202002258773263526   Reference number：20A0844804

中赤外線レーザの開発とレーザオートコリメーション法への適用

Author (5)： MATSUKUMA HIRAKU (東北大 大学院工学研究科) ,  ASUMI YUME (東北大 大学院工学研究科) ,  NAGAOKA MASAFUMI (東北大 大学院工学研究科) ,  SHIMIZU YUKI (東北大 大学院工学研究科) ,  KO I (東北大 大学院工学研究科)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2020  Issue： 春季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.J49  Publication year： Mar. 01, 2020 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *infrared laser ,  *collimation ,  *angle measurement ,  reflection plane ,  reflectivity ,  surface roughness ,  infrared radiation ,  fluoride ,  fiber ,  knife edge ,  thermocouple ,  mid infrared ,  LWIR(infrared)
Semi thesaurus term： thermopile ,  long wavelength infrared range ,  noncontact

JST classification (2)： Lasers in general  (BD04030T) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (10)：

• W. Gao, “Precision Nanometrology: Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing”, Springer (2010).
• W. Gao, S. W. Kim, H. Bosse, H. Haitjema, Y. L. Chen, X. D. Lu, W. Knapp, A. Weckenmann, W. T. Estler and H. Kunzmann, CIRP Annals, 64(2), 773-796 (2015)
• A. E. Ennos and M. S. Virdee, Precis. Eng., 4(1), 5-8 (1982).
• Y. Shimizu, S.L. Tan, D. Murata, T. Maruyama, S. Ito, Y.L. Chen and W. Gao, Opt. Exp., 24, 2788-2805 (2016).
• S. Duval, M. Bernier, V. Fortin, J. Genest, M. Piche and R. Vallee, Optica, 2, 623-626 (2015).

Terms in the title (3)： 中赤外線 ,  レーザ ,  開発