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J-GLOBAL ID：202002259287736668   Reference number：20A0844740

Feasibility study on an encoder system employing a micro thermal sensor head

フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサによる形状計測に関する研究-マルチビーム角度センサの設計-

Author (6)： SHIMIZU YUKI (東北大) ,  TAKASONO SHOTA (東北大) ,  KANDA YURI (東北大) ,  MATSUKUMA HIRAKU (東北大) ,  INABA HAJIME (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2020  Issue： 春季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.G47  Publication year： Mar. 01, 2020 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： face ,  *shape measurement ,  *femtosecond laser ,  *sensor ,  single mode fiber ,  spectrum
Semi thesaurus term： single mode fibre ,  *angle sensor ,  shape measurement ,  optical spectrum ,  optical quality surface

JST classification (1)： Refraction,reflection,dispersion,deflection,absorption,transmission  (BD03020B)

Reference (5)：

• P. de Groot, Appl. Opt., 34 (1995) 2856-2863.
• W. Gao et al. Precis. Eng., 26 (2002) 396-404.
• 近藤余範, 産総研計量標準報告, 8, 3 (2011) 299-310.
• Y. Chen, Y. Shimizu et al.: Precision Engineering, 54 (2018) 284-293.
• Y. Shimizu, S. L. Tan et al.: Optics Express, 4, 3 (2016) 2788-2805.

Terms in the title (7)： フェムト秒 ,  レーザ光源 ,  角度センサ ,  形状計測 ,  研究 ,  マルチビーム ,  設計