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J-GLOBAL ID：202002259831972112   Reference number：20A0238040

Wet etching for InAs-based InAs/Ga(As)Sb superlattice long wavelength infrared detectors

InAsベースInAs/Ga(As)SbII超格子長波赤外検出器の湿式腐食研究【JST・京大機械翻訳】

Author (4)： Wu Jia (中国科学院上海技術物理研究所紅外成像材料与器件重点実験室,上海200083;中国科学院大学,北京100049) ,  Xu Zhicheng (中国科学院上海技術物理研究所紅外成像材料与器件重点実験室,上海,200083) ,  Chen Jianxin (中国科学院上海技術物理研究所紅外成像材料与器件重点実験室,上海,200083) ,  He Li (中国科学院上海技術物理研究所紅外成像材料与器件重点実験室,上海,200083)
Material： Hongwai yu Haomibo Xuebao  (Hongwai Yuhao Mibo Xuebao)
Volume： 38  Issue： 5  Page： 549-553  Publication year： 2019 
JST Material Number： C0174C  ISSN： 1001-9014  CODEN： HHXUEZ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： China (CHN)  Language： CHINESE (ZH)

Abstract/Point： Wet chemical etching of InAs-b...

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Thesaurus term： optimization ,  gallium antimonide ,  *infrared detector ,  phosphoric acid ,  wavelength ,  etching solution ,  detector ,  dark current ,  *corrosion ,  wet etching ,  *superlattice ,  hydrogen peroxide ,  *indium arsenide ,  aliphatic alcohol ,  aliphatic carboxylic acid ,  hydroxy acid ,  polycarboxylic acid
Semi thesaurus term： カットオフ , 【Automatic Indexing@JST】

Author keywords (4)： InAs/Ga(As)Sb ,  type-II superlattice ,  wet chemical etching ,  surface morphology

JST classification (1)： Infrared photometry and photodetectors  (BD07032W)

Substance index (1)： Citric acid

Terms in the title (7)： InAs ,  Ga ,  超格子 ,  長波 ,  赤外検出器 ,  腐食 ,  研究