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J-GLOBAL ID：202002260009692022   Reference number：20A2052183

Feasibility study on an encoder system employing a micro thermal sensor head

フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサによる形状計測に関する研究-マルチビーム角度センサの設計と基礎特性評価-

Author (6)： SHIMIZU YUKI (東北大) ,  TAKAZONO SHOTA (東北大) ,  KANDA YURI (東北大) ,  MATSUKUMA HIRAKU (東北大) ,  INABA HAJIME (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
Volume： 2020  Issue： 秋季  Page： ROMBUNNO.D0205  Publication year： Aug. 20, 2020 
JST Material Number： Y0914B  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： sensor ,  *femtosecond laser ,  laser pulse ,  shape measurement ,  mode-locked laser ,  extension ,  optical sensor ,  measuring instrument ,  *diffraction grating ,  face ,  spectrum analyzer ,  beam ,  femtosecond laser pulse ,  *angle sensor ,  specularity
Semi thesaurus term： range expansion ,  shape measurement ,  optical sensor

JST classification (3)： Measuring instruments in general  (AD02000X) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Optical instruments and techniques in general  (BD07010S)

Reference (5)：

• P. de Groot, Appl. Opt., 34 (1995) 2856-2863.
• W. Gao et al. Precis. Eng., 26 (2002) 396-404.
• 近藤余範, 産総研計量標準報告, 8, 3 (2011) 299-310.
• Y. Chen, Y. Shimizu et al.: Precision Engineering, 54 (2018) 284-293.
• Y. Shimizu, S. L. Tan et al.: Optics Express, 4, 3 (2016) 2788-2805.

Terms in the title (9)： フェムト秒 ,  レーザ光源 ,  角度センサ ,  形状計測 ,  研究 ,  マルチビーム ,  設計 ,  基礎 ,  特性評価