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J-GLOBAL ID：202002264951406769   Reference number：20A0916409

Long-Term Stability Improvement of Micro-Hotplate Methane Sensor Product

マイクロホットプレートメタンセンサ製品の長期安定性改善【JST・京大機械翻訳】

Author (4)： Chen Ying (University of Chinese Academy of Sciences,Beijing,CHINA,100049) ,  Xu Pengcheng (University of Chinese Academy of Sciences,Beijing,CHINA,100049) ,  Zhang Pingping (Suzhou Huiwen Nanotechnology Co. Ltd.,Jiangsu,CHINA) ,  Li Xinxin (University of Chinese Academy of Sciences,Beijing,CHINA,100049)
Material： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conf Proc)
Volume： 2020  Issue： MEMS  Page： 1300-1303  Publication year： 2020 
JST Material Number： W2441A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： This paper reports the improve...

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Thesaurus term： high temperature ,  optimization ,  semiconductor ,  failure ,  *heater ,  oxide ,  drift(migration) ,  sensor ,  commercialization ,  gas sensor ,  polysilicon ,  alkane
Semi thesaurus term： *ホットプレート ,  長期安定性 ,  電圧印加 , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (5)： Special-purpose arithmetic and control units  (JC04030Y) ,  Medical image processing  (JE04020T) ,  Speach processing  (JE05000E) ,  NMR in general  (BM07041R) ,  Code theory  (ND02030R)

Substance index (1)： Methane

Terms in the title (1)： 長期安定性