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J-GLOBAL ID：202002267883778468   Reference number：20A1993343

Study on novel nano fine particles based on the fullerene structure for CMP on hard to process material

難加工研磨におけるフラーレン結合型機能性ナノ微粒子に関する研究

Author (5)： HISAYOSHI FUYA (九州工大 情報工) ,  YASUNAGA TAKUO (九州工大 情報工) ,  OUCHI SHOKICHI (九州工大 情報工) ,  PANART Khajornrungruang (九州工大 情報工) ,  SUZUKI KEISUKE (九州工大 情報工)
Material： 砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (ABTEC (CD-ROM))
Volume： 2020  Page： ROMBUNNO.D08  Publication year： Aug. 21, 2020 
JST Material Number： L0894B  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *fullerene ,  *nano particle ,  *chemical mechanical polishing ,  sapphire ,  microwave irradiation ,  *productivity enhancement
Semi thesaurus term： chemical mechanical polishing

JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Reference (5)：

• K. Suzuki, et. al., ICOMM2014, 26C4-123 2014.
• 篠原 久典,齋藤 弥八, ”フラーレンの化学と物理”, 名古屋大学出版会(2004)
• B. Sundqvist: in Fullerenes, eds. K.M. Kadish, R.S. Rudorff (Wiley, New York, 2000), Chap. 15.
• Y. Iwasa, T. Arima, R.M. Fleming, T. Siegrist, O. Zhou, R.C. Haddon, L.J. Rothberg, K.B. Lyons, H.L. Carter, Jr., A.F. Hebard, R. Tycko, G. Dabbagh, J.J. Krajewski, G.A. Thomas, T. Yagi: Science, 264, 1570 (1995).
• Ryota Murai, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata: Study on chemical interaction analysis of reactive fullerenol molecules in Cu-CMP using high-sensitive Raman spectrometry, Key engineering materials, vol.625, pp.332-338 (2015)

Terms in the title (5)： 研磨 ,  フラーレン ,  機能性 ,  ナノ微粒子 ,  研究