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J-GLOBAL ID：202002268852946986   Reference number：20A2236875

Simultaneous measurement of atomic oxygen and ozone densities under pure oxygen short-gapped discharge

極短ギャップ純酸素放電における酸素原子とオゾンの同時密度計測

Author (4)： NAKAGAWA YUSUKE (首都大 院) ,  KAWAKITA TAKUYA (首都大 院) ,  UCHIDA SATOSHI (首都大 院) ,  TOCHIKUBO FUMIYOSHI (首都大 院)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 67th  Page： ROMBUNNO.12p-A302-5  Publication year： Feb. 28, 2020 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2436-7613  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： interference ,  fluorescence ,  plasma ,  *electric discharge ,  xenon ,  *ozone ,  wavelength ,  laser beam ,  approximation method ,  pulse ,  atmospheric plasma ,  simultaneous measurement
Semi thesaurus term： レーザ誘起蛍光 ,  チャンバ ,  *酸素原子 , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (2)： Gas discharges  (BJ03020T) ,  Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Terms in the title (6)： ギャップ ,  純酸素 ,  放電 ,  酸素原子 ,  オゾン ,  密度計測