Art

J-GLOBAL ID：202002270199537116   Reference number：20A1478048

粉体成膜プロセス研究のハイスループット化のための データ駆動型粉体プロセス・インフォマティクス

Author (6)： NAGATO KEISUKE (東大 大学院工学系研究科) ,  INOUE GEN (九大 大学院工学研究院) ,  ARAKI TAKUTO (横浜国大 大学院工学研究院) ,  KURODA YOSHIYUKI (横浜国大 大学院工学研究院) ,  TSUJIGUCHI TAKUYA (金沢大) ,  OSA TAKAYUKI (九州工大)
Material： 機械の研究  (Science of Machine)
Volume： 72  Issue： 7  Page： 511-516  Publication year： Jul. 01, 2020 
JST Material Number： F0147A  ISSN： 0368-5713  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *powder ,  thin film growth ,  *process (production) ,  hypothetical reasoning ,  experiment ,  data analysis ,  Machine Learning ,  *Science ,  phenomenon ,  Correlation of Data ,  Physical Phenomena
Semi thesaurus term： Informatics ,  *データ駆動型研究 ,  仮設駆動型研究 ,  中間データ

JST classification (1)： Powder technology  (XD03010M)

Terms in the title (7)： 粉体 ,  成膜プロセス ,  研究 ,  ハイスループット ,  データ駆動 ,  プロセス ,  インフォマティクス