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J-GLOBAL ID：202002272462492119   Reference number：20A0435925

Damping Controller Design for Triangular Scanning of a Third-Order Nanopositioning Stage

三次ナノ位置決めステージの三角走査のための減衰制御器設計【JST・京大機械翻訳】

Author (5)： Ling Jie (National University of Singapore,Singapore,Singapore,119077) ,  Ye Tingting (School of Power and Mechanical Engineering, Wuhan University,Wuhan,China,430072) ,  Feng Zhao (National University of Singapore,Singapore,Singapore,119077) ,  Ming Min (School of Power and Mechanical Engineering, Wuhan University,Wuhan,China,430072) ,  Xiao Xiaohui (Shenzhen Institute of Wuhan University,Shenzhen,China,518057)
Material： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conf Proc)
Volume： 2019  Issue： ICCAS  Page： 412-417  Publication year： 2019 
JST Material Number： W2441A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： In this paper, a design proced...

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Thesaurus term： resonance ,  effectiveness ,  piezoelectricity ,  pole assignment ,  *scanning ,  bandwidth ,  resonance(vibration) ,  control system(computer) ,  control equipment
Semi thesaurus term： *ナノポジショニング , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (3)： Graphic and image processing in general  (JE04010I) ,  Power converters  (NB08030B) ,  Speach processing  (JE05000E)

Terms in the title (7)： ナノ位置決め ,  ステージ ,  三角 ,  走査 ,  減衰 ,  制御器 ,  設計