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J-GLOBAL ID：202002275692410948   Reference number：20A0844561

超音波支持の周波数依存性に関する研究-第2報 圧力分布測定-

Author (5)： KUBOTA MASAHIRO (埼玉大) ,  TAKASAKI MASAYA (埼玉大) ,  YAMAGUCHI DAISUKE (埼玉大) ,  ISHINO YUJI (埼玉大) ,  MIZUNO TAKESHI (埼玉大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2020  Issue： 春季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.D18  Publication year： Mar. 01, 2020 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： vibrator ,  *pressure distribution ,  frequency dependence ,  supporting structure ,  ultrasonic application ,  near field ,  stiffened member ,  finite element method ,  squeeze film ,  gap
Semi thesaurus term： diaphragm (structural element) ,  space gap ,  support ,  *ultrasonic vibrator ,  *ultrasonic levitation ,  noncontact

JST classification (3)： Machine elements in general  (QB01010L) ,  Transmission equipment  (QB01070Z) ,  Motion mechanism  (QB01080K)

Reference (5)：

• 寺田大輔ほか,“微小物体を対象とした非接触超音波支持機構の基本特性の評価”第20回電磁力関連のダイナミクスシンポジウム,(2008), 99-102
• 窪田雅大ほか,“超音波支持の周波数依存性に関する研究 - 第1報 振動子の製作と基礎実験-”2019年度精密工学会秋季大会講演論文集,pp. 344-345.
• 高崎正也ほか,“スクイーズ膜圧力分布計測用センサアレイの開発”第36回「センサ,マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演論文集,21pm1-PS3-25, (2019)
• M. Takasaki, et al., “Structure for Ultrasonic Suspension Gap Pressure Sensor” Sensors and Materials, Vol. 29, No. 6, (2017) 805-816.
• E.O.J.Salbu,“Compressive Squeeze Films and Squeeze Bearings” ASME Journal of Basic Engineering, 86 (2), (1964) 355-364.

Terms in the title (5)： 超音波 ,  支持 ,  周波数依存性 ,  研究 ,  圧力分布