宇宙開発の今~究極のクリーン化を目指して~宇宙ナノエレクトロニクスクリーンルームを用いた研究開発

YAMASAKI NORIKO; KAWASAKI SHIGEO; MITA MAKOTO; WADA TAKEHIKO; ISHIKAWA KUMI

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J-GLOBAL ID：202002286666521875 Reference number：20A1939840

宇宙開発の今~究極のクリーン化を目指して~宇宙ナノエレクトロニクスクリーンルームを用いた研究開発

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Volume： 30 Issue： 9 Page： 5-8 Publication year： Sep. 10, 2020
JST Material Number： L1138A ISSN： 0917-1819 CODEN： KTEKER Document type： Article
Article type：短報 Country of issue： Japan (JPN) Language： JAPANESE (JA)

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Research and development

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