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J-GLOBAL ID：202002289591169815   Reference number：20A0779646

Development of Atmospheric Pressure MeV-SIMS and Solid-Liquid Interface Analysis

大気圧MeV-SIMSの開発と固液界面分析

Author (1)： SEKI TOSHIO (京大 大学院工学研究科)
Material： Journal of Surface Analysis  (JSA)
Volume： 26  Issue： 3  Page： 254-257  Publication year： Mar. 17, 2020 
JST Material Number： L3852A  ISSN： 1341-1756  CODEN： JSANFX  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *atmospheric pressure ,  *secondary ion mass spectrometry ,  *solid-liquid interface ,  high sensitivity ,  element ,  distribution ,  depth profile ,  silicon ,  impurity ,  ion ,  heavy ion ,  organic material ,  aromatic carboxylic acid
Semi thesaurus term： *atmospheric pressure ,  *SIMS(analysis) ,  element distribution ,  depth profile ,  fast ion

JST classification (1)： Mass spectrometers  (BD02060M)

Substance index (1)： Benzoic Acid

Reference (2)：

• [ 1]\tT. Seki Y. Wakamatsu, S. Nakagawa, T. Aoki, A. Ishihara, and J. Matsuo, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 332, 326 (2014).
• [ 2]\tM. Kusakari, M. Fujii, T. Seki, T. Aoki, and J. Matsuo, J. Vac. Sci. Technol. B 34, 03H111 (2016).

Terms in the title (5)： 大気圧 ,  SIMS ,  開発 ,  固液界面 ,  分析