Pat
J-GLOBAL ID：202003000847860875
デュアルコム分光法を用いた偏光計測装置及び偏光計測方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2016017537
Publication number (International publication number)：2017138129
Patent number：6632059
Application date： Feb. 01, 2016
Publication date： Aug. 10, 2017
Claim (excerpt)：
【請求項1】 第1の繰り返し周波数を有する第1の光周波数コム光源と、
第2の繰り返し周波数を有する第2の光周波数コム光源と、
前記第1の光周波数コム光源の光路上で試料の出射側に配置され、偏光状態を周期的に変調する変調素子と、
前記変調素子を、前記第1の光周波数コム光源と前記第2の光周波数コム光源の繰り返し周波数差の分数倍の周波数で偏光変調する手段と、
前記第1の光周波数コム光源から出力されて前記試料及び前記変調素子を透過する光と、前記第2の光周波数コム光源から出力される光の干渉光を検出する検出器と、
前記干渉光に基づいて前記試料を透過した光の偏光状態を計測する解析装置と、
を有することを特徴とする偏光計測装置。
IPC (2)：
G01N 21/21 ( 200 6.01)
, G01J 4/04 ( 200 6.01)
G01N 21/21 Z
, G01J 4/04 Z
