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J-GLOBAL ID：202003008410213634

検査装置及び検査システム

Inventor：
梶丸 孝志

About 梶丸 孝志


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロンデバイス株式会社

About 東京エレクトロンデバイス株式会社


Agent (2)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2018156687
Publication number (International publication number)：2020030145
Application date： Aug. 23, 2018
Publication date： Feb. 27, 2020
Summary：
【課題】 複数種類の対象物の検査を迅速に実行可能な検査装置及び検査システムを提供する。【解決手段】 一実施形態に係る検査装置は、画像データから、対応する対象物の画像データを抽出する複数の認識処理部と、前記対象物の画像データに基づいて、前記対象物に対応する検査を実行する複数の検査処理部と、前記複数の認識処理部及び前記複数の検査処理部を制御する制御部と、を備える。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
画像データから、対応する対象物の画像データを抽出する複数の認識処理部と、 前記対象物の画像データに基づいて、前記対象物に対応する検査を実行する複数の検査処理部と、 前記複数の認識処理部及び前記複数の検査処理部を制御する制御部と、 を備える検査装置。
IPC (2)：
G01N 21/88 ,  G06T 7/00
FI (3)：
G01N21/88 J ,  G06T7/00 610 ,  G06T7/00 350B
F-Term (11)：
2G051AA01 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051DA06 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096HA09 ,  5L096KA01 ,  5L096KA04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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