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J-GLOBAL ID：202003012221055200

フッ素含有非晶質硬質炭素膜及びその製造方法

Inventor： 鈴木 哲也 ,  前川 駿人 ,  長谷部 光泉 ,  白倉 昌
Applicant, Patent owner： 学校法人慶應義塾
Agent (2)： 今下 勝博 ,  岡田 賢治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019041368
Publication number (International publication number)：2020143348
Application date： Mar. 07, 2019
Publication date： Sep. 10, 2020
Summary：

【課題】本開示は、上記問題を解決し、AIPを利用して、テトラへドラルアモルファスカーボンを基材表面に形成するに際し、より簡便な機構で高い撥水性を与えるためのフッ素原子を含有せしめ、高い撥水性、すなわち高いフッ素含有量を有しかつ十分な硬度を維持しているフッ素含有非晶質硬質炭素膜及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本開示に係るフッ素含有非晶質硬質炭素膜1は、基材2の表面に設けられ、フッ素原子を10〜50原子%含有するフッ素含有層を有し、フッ素含有層はフッ素含有非晶質硬質炭素膜の基材側とは反対側の最外面3を含み、かつ、フッ素含有量が厚さ方向で基材側から最外面側に向かうに従って増加する傾斜組成を有し、かつ、フッ素含有層がフッ素含有非晶質硬質炭素膜の厚さ方向の中央Cを含み、かつ、最外面におけるフッ素含有量が、厚さ方向の中央におけるフッ素含有量の1.5倍以上である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基材の表面に設けられ、フッ素原子を10〜50原子%含有するフッ素含有層を有するフッ素含有非晶質硬質炭素膜であって、 前記フッ素含有層は前記フッ素含有非晶質硬質炭素膜の前記基材側とは反対側の最外面を含み、かつ、フッ素含有量が厚さ方向で前記基材側から前記最外面側に向かうに従って増加する傾斜組成を有し、かつ、 (1)前記フッ素含有層が前記フッ素含有非晶質硬質炭素膜の厚さ方向の中央を含み、かつ、前記最外面におけるフッ素含有量が、前記厚さ方向の中央におけるフッ素含有量の1.5倍以上であるか、又は(2)前記フッ素含有層が前記厚さ方向の中央より前記最外面側にあることを特徴とするフッ素含有非晶質硬質炭素膜。

IPC (3)：

C23C 14/06 ,  C23C 14/32 ,  C09K 3/18

FI (3)：

C23C14/06 F ,  C23C14/32 F ,  C09K3/18 102

F-Term (13)：

4H020AA01 ,  4H020BA11 ,  4K029AA02 ,  4K029AA07 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BA34 ,  4K029CA04 ,  4K029CA13 ,  4K029DA04 ,  4K029DB02 ,  4K029DD06