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J-GLOBAL ID：202003015495772161

研磨用ナノファイバー集積体およびその製造方法

Inventor： 池ヶ谷 守彦 ,  曽田 浩義 ,  廣垣 俊樹 ,  青山 栄一 ,  呉 魏
Applicant, Patent owner： エム・テックス株式会社
Agent (1)： 特許業務法人プロスペック特許事務所
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2017042926
Publication number (International publication number)：WO2019106774
Application date： Nov. 29, 2017
Publication date： Jun. 06, 2019
Summary：

精密研磨用微粉を用いた場合でも研磨効率の低下を抑制できる研磨用ナノファイバー集積体およびその製造方法を提供する。研磨用ナノファイバー集積体(1)は、精密研磨用微粉を液体に混ぜたスラリーを吸着させて用いられる。研磨用ナノファイバー集積体(1)は、平均繊維径(d)が400nm以上でかつ1000nm以下であり、空隙率(η)が0.70以上でかつ0.95以下である。研磨用ナノファイバー集積体(1)は、空隙率(η)を確保しつつ繊維間距離(e1)を小さくすることができる。そのため、粒径の小さい砥粒が繊維間に入り込んでしまうことを抑制できる。

Claim (excerpt)：

精密研磨用微粉を液体に混ぜたスラリーを吸着させて用いる研磨用ナノファイバー集積体であって、 前記研磨用ナノファイバー集積体の平均繊維径をdとし、前記研磨用ナノファイバー集積体の空隙率をηとしたとき、以下の式(i)および(ii)を満足することを特徴とする研磨用ナノファイバー集積体。(i) 400nm≦d≦1000nm(ii) 0.70≦η≦0.95

IPC (2)：

B24D 11/00 ,  B24D 3/00

FI (3)：

B24D11/00 A ,  B24D11/00 Q ,  B24D3/00 340

F-Term (5)：

3C063AA10 ,  3C063AB07 ,  3C063BD08 ,  3C063CC30 ,  3C063FF30