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J-GLOBAL ID：202102215997383535   Reference number：21A0191164

Nuclear reaction analysis for composition measurement of BN thin films

BN薄膜の組成測定のための核反応分析

Author (4)： KOBAYASHI T. (Tsuyama National Coll. of Technol.) ,  TAKAMIYA S. (Tsuyama National Coll. of Technol.) ,  KANEMATSU H. (Suzuka National Coll. of Technol.) ,  FUKUI T. (Tsuyama National Coll. of Technol.)
Material： Proceedings of the International Conference on Nuclear Engineering. Book of Abstracts (Web)  (Proceedings of the International Conference on Nuclear Engineering (Web))
Volume： 2011.19  Page： ROMBUNNO.ICONE19-43421(J-STAGE)  Publication year： Aug. 01, 2011 
JST Material Number： U1252A  ISSN： 2424-2934  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *nuclear reaction analysis ,  *boron nitride ,  composition(constitution) ,  deuteron ,  thin film ,  *Rutherford scattering spectroscopy ,  elemental analysis ,  Auger electron spectroscopy ,  Van de Graaff accelerator ,  deuteron beam

JST classification (1)： Deuteron-and triton-induced reactions and scattering  (BG04060J)

Terms in the title (4)： BN ,  薄膜 ,  組成 ,  核反応分析