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J-GLOBAL ID：202102236805143482   Reference number：21A0217793

Transparency Improvement of SiCO Thin Film for Optical Waveguide with Reactive Sputtering Method

反応性スパッタリング法を用いた光導波路用SiCO薄膜の透明性向上

Author (5)： NIKKUNI HIROYUKI (東京工業高等専門学校) ,  NUMATA CHIZURU (東京工業高等専門学校) ,  YAMAJI RYOTO (長岡技術科学大学電気電子情報工学専攻) ,  ITO HIROSHI (東京工業高等専門学校) ,  KAWAMATA YOSHIO (東京工業高等専門学校)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 140  Issue： 12  Page： 369-373(J-STAGE)  Publication year： 2020 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *optical waveguide ,  *reactive sputtering ,  optical gap ,  absorption coefficient ,  internal stress ,  stress relaxation ,  refractive index ,  hardness ,  Young's modulus ,  *pressure sensor ,  silicon compound ,  carbon compound ,  oxide ,  silicon carbide ,  Oxygen ,  addition (annex) ,  inflow ,  ratio ,  *transparency
Semi thesaurus term： 酸素流入量 ,  酸素流量比 ,  *光導波型圧力センサ

Author keywords (12)： 光導波路 ,  センサ ,  反応性スパッタリング ,  SiCO薄膜 ,  光学的特性 ,  機械的特性 ,  optical waveguide ,  sensor ,  reactive sputtering ,  SiCO thin film ,  optical characteristic ,  mechanical characteristic

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H)

Reference (19)：

• (1) L. M. Johnson, G. W. Pratt, and F. J. Leonberger : “Integrated-Optical Temperature Sensor”, in Technical Digest, Third International Conference on Integrated Optics and Optical Fiber Communication (Optical Society of America) Washington, DC, paper WL4 (1981)
• (2) M. Tabib-Azar and G. Beheim : “Modern Trends in Microstructures and Integrated Optics for Communication, Sensing and Actuation”, Opt. Eng., Vol. 36, No. 5, pp. 1307-1318 (1997)
• (3) M. Ohkawa, M. Izutsu, and T. Sueta : “Integrated Optic Pressure Sensor on Silicon Substrate”, Appl. Opt., Vol. 28, No. 23, pp. 5153-5157 (1989)
• (4) M. Ohkawa, Y. Shirai, T. Goto, S. Sekine, and T. Sato : “Silicon-Based Integrated Optic Pressure Sensors using Intermodal Interference between TM-like and TE-like Modes”, Fiber and Integrated Optics, Vol. 21, No. 2, pp. 105-113 (2002)
• (5) H. Nikkuni, Y. Watanabe, M. Ohkawa, and T. Sato : “Sensitivity Dependence with Respect to Diaphragm Thickness in Guided-Wave Optical Pressure Sensor Based on Elasto-Optic Effect”, Opt. Eng., Vol. 47, No. 4, pp. 044402-1~5 (2008)

Terms in the title (4)： 反応性スパッタリング ,  光導波路 ,  薄膜 ,  透明性