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J-GLOBAL ID：202102271775986609   Reference number：21A0253547

Piezoresistive gas sensor based on polymer volume change with stress concentration generated by a cantilever lateral deflection

ポリマーの体積変化とカンチレバーの横変位による応力集中を用いたピエゾ抵抗型ガスセンサ

Author (5)： HOKAMA TAKUMI (東北大) ,  TODA MASAYA (東北大) ,  ONO TAKAHITO (東北大) ,  YAMAZAKI MAI (三井化学) ,  MOORTHI Krzysztof (三井化学)
Material： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
Volume： 35th  Page： ROMBUNNO.01pm1-PS-190  Publication year： Oct. 23, 2018 
JST Material Number： X0768B  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： polymer ,  variation ,  cantilever beam ,  displacement(transfer) ,  *stress concentration ,  *electric resistance ,  *gas sensor
Semi thesaurus term： polymer ,  volume change ,  cantilever ,  lateral displacement ,  *piezoresistance

JST classification (2)： Measuring instruments in general  (AD02000X) ,  Solic-state devices in general  (NC03010Z)

Terms in the title (7)： ポリマー ,  体積変化 ,  カンチレバー ,  横変位 ,  応力集中 ,  ピエゾ抵抗 ,  ガスセンサ