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J-GLOBAL ID：202102282411850583   Reference number：21A0833422

Flexible AMOLED Display with Self-aligned Top Gate Oxide TFTs and Novel Barrier Structures

自己整合トップゲート酸化物TFTと新しいバリア構造を備えたフレキシブルAMOLEDディスプレイ

Author (13)： KANEGAE Arinobu (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  KOBAYASHI Emi (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  HONDA Yosuke (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  SAKAMOTO Gosuke (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  ISAJI Yuka (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  TSUTSUI Yasutaka (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  UENO Iwao (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  UKEDA Takaaki (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  OKADA Keisuke (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  IZAWA Yosuke (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  KAMITANI Ayumi (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  MIFUNE Tatsuo (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  MORITA Kiyoyuki (Panasonic Corp., Osaka, JPN)
Material： Proceedings of the International Display Workshops (CD-ROM)  (IDW (CD-ROM))
Volume： 21st  Page： ROMBUNNO.OLED3-4L  Publication year： Dec. 02, 2014 
JST Material Number： L4269B  ISSN： 1883-2504  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *self alignment ,  *device structure ,  obstruction ,  *EL display ,  flat panel display ,  thin film transistor ,  gallium compound ,  zinc compound ,  indium oxide
Semi thesaurus term： *AMOLED display ,  IGZO(semiconductor) ,  TFT ,  *tog gate structure ,  barrier ,  flexible display

JST classification (2)： Display equipment  (NC06030Q) ,  Light emitting devices  (NC03082G)

Reference (3)：

• N.Morosawa et al., “High Mobility Self-Aligned Top-Gate Oxide TFT for High-Resolution AM-OLED”, SID’13 DIGEST, 85 (2013).
• I.L.Lin et al., “Transparent Ultrahigh-Strength Moisture Barrier Film Fabricated by Lamination Process”, Jpn. J. Appl. Phys. 52, 01AC10 (2013).
• P.F.Carcia et al., “Gas diffusion ultrabarriers on polymer substrate using Al₂O₃ atomic layer deposition and SiN plasma-enhanced chemical vapor deposition”, J. Appl. Phys. 106, 023533(2009).

Terms in the title (6)： 自己整合 ,  トップ ,  ゲート酸化物 ,  TFT ,  バリア ,  AMOLEDディスプレイ